OB欧宝体育刻蚀设备不断突破新品研发快速推进

　　现扣非净利润 5.2 亿元， 同比增长 18%。单 Q2 营收 13 亿元， 同比增长 27%； 实现归母净利润 7.3 亿元， 同比增长 108%； 实现扣非净利润 2.9 亿元，OB欧宝体育 同比增长 14.5%。

　　公司上半年刻蚀设备收入 17 亿元， 同比增长 32.5%，关键客户市场占有率不断提高； MOCVD 设备实现收入 3 亿元， 同比增长 24%；备品备件及服务收入 5 亿元， 同比增长 17%。二季度非经常收益较高主要归因于公司于 2023 年上半年出售了部分持有的拓荆科技股票，产生税后净收益约 4 亿元。

　　刻蚀机： 已有的产品已经对 28 纳米以上的绝大部分 CCP 刻蚀应用和 28 纳米及以下的大部分 CCP 刻蚀应用形成较为全面的覆盖。 高深宽比设备快速进展， 公司致力于提供超高深宽比掩膜（≥40:1）和超高深宽比介质刻蚀(≥60:1)的全套解决方案， 开发了用于超高深宽比掩膜的刻蚀的 ICP 刻蚀机， 和用于超高深宽比介质刻蚀的 CCP 刻蚀机。这两种设备都已经开展现场验证，目前进展顺利。随着新的 ICP 产品不断推出，公司在先进逻辑芯片、先进 DRAM 和3D NAND 的 ICP 验证刻蚀工艺覆盖率有望扩展到 50%-70%不等。

　　薄膜沉积： 公司首台 CVD 钨设备去年底付运到关键存储客户端验证评估，进一步开发新型号 CVD 钨和 ALD 钨设备已通过关键客户实验室测试，首台量产验证机已在客户端进行测试。 EPI 外延设备正处于工艺调试和客户验证阶段。公司推出了用于氮化镓功率器件生产的 MOCVD 设备 Prismo PD5，目前已交付国内外领先客户进行生产验证，并取得了重复订单。公司也启动了应用于碳化硅功率器件外延生产设备的开发， 2023 年内交付样机至客户端开展生产验证。