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OB欧宝体育官网日本半导体设备出口管制令7月23日生效 商务部称滥用管制

  日本对华半导体制造设备出口管制落地。当地时间5月23日,日本政府正式出口管制规定,限制23种高性能半导体制造设备出口,新规将在7月23日施行。

  据日本经济产业省的细则,23种管制物项中,3种关于半导体清洗,11种关于成膜,4种关于光刻,3种关于蚀刻,1种关于检查,多为设备和设备中的零部件,并设定了标准。纳入管制的物项包括:为制造使用了极紫外线的集成电路,使涂层的涂胶、成膜、加热或显影的设备;达到一定标准的干法蚀刻设备;对晶圆进行表面改性,然后进行干燥的叶式湿洗装置等。

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